塵埃粒子計數器的關(guān)鍵部件，對儀器的性能影響很大。光源要求穩性高、壽命長(cháng)、不受干擾。

   1.光源

　 光源有普通光源和激光光源兩種。普通光源為碘鎢燈，體積大、發(fā)熱量高、壽命短，開(kāi)機后需要預熱。激光光源為激光器，體積小、穩性高、壽命長(cháng)，常與檢測腔及光檢測器做成一體，組成傳感器。常見(jiàn)的激光光源有HeNe激光器、激光二極管。

　　采用普通光源的塵埃粒子計數器對0.3μm以下的微粒信號響應很低，其信號幅度與計數器本身的噪聲幅度相差無(wú)幾，信號很難從噪聲中檢測出來(lái)。此類(lèi)儀器雖然標有0.3μm這一通道，但只適于測大于0.3μm特別是0.5μm以上的微粒。

　　由于激光的單色性好，光能量集中穩，所以采用激光光源的塵埃粒子計數器其傳感器有較高的信噪比，此類(lèi)儀器有些能檢測到0.1μm的微粒。

　　2.測量腔

　　測量腔是進(jìn)行微粒觀(guān)測的空間，被采集的空氣要從測量腔內穿過(guò)。儀器的光學(xué)系統使光源經(jīng)透鏡、狹縫照射到測量腔中，形成一個(gè)體積約幾個(gè)立方毫米的光敏感區。當空氣中的塵埃通過(guò)光敏感區時(shí)，會(huì )散射出一部分光能量，被與入射光成一角度(90度或70度)的集光透鏡收集，再投射到光檢測器上。

　　3.光檢測器

　　光檢測器是將散射光能量轉換為電信號的光電轉換器件。塵埃粒子計數器中常用的光檢測器是光電倍增管和光電二極管。

　　光電倍增管把光電子放大幾萬(wàn)倍后轉換成幾個(gè)毫伏到幾十毫伏的電信號，具有光譜線(xiàn)性好、響應時(shí)間快、暗電流小的優(yōu)點(diǎn)，缺點(diǎn)是體積大。光電倍增管工作時(shí)需加上幾百伏特的負高壓，儀器中有相應的高壓產(chǎn)生電路，在對儀器進(jìn)行調試或校準時(shí)應注意安。

　　光電二極管是一種受到光照后能產(chǎn)生電子的半導體元件，具有體積小、外圍電路簡(jiǎn)單的特點(diǎn)，常與檢測腔做成一體。

　　4.流量監控

　　塵埃粒子計數器的采樣流量一般為2.83L/min或28.3L/min，進(jìn)口儀器常標識為0.1cfm(立方英尺每分鐘)或1cfm，主要是為了便于進(jìn)行符合Fed-Std-209E的潔凈度的計算。

　　大流量的采樣(28.3L/min)更能準確地反映空氣的潔凈狀況，但使大采樣濃度降低。

　　5.氣泵及過(guò)濾器

　　氣泵位于儀器內部，使儀器產(chǎn)生采樣流量。氣泵要求噪音低、振動(dòng)小、產(chǎn)生的氣流穩。過(guò)濾器應能過(guò)濾掉0.3μm以上的微粒，以免從儀器排出的空氣對潔凈區產(chǎn)生影響。

　　6.電路系統

　　不同粒徑大小的粒子經(jīng)塵埃粒子計數器的光電系統轉換后，會(huì )產(chǎn)生不同幅度(電壓)的電脈沖信號，粒徑越大，脈沖電壓越高。信號電壓與粒徑之間的關(guān)系，也叫轉換靈敏度。對于給的塵埃粒子計數器，粒徑大小與脈沖電壓是一一對應的，例如某臺塵埃粒子計數器的轉換靈敏度為0.3μm對應69mv，0.5μm對應531mv，1.0μm對應701mv等，若塵埃粒子計數器檢測到一個(gè)脈沖為100mv，則這個(gè)粒子的大小肯大于0.3μm而小于0.5μm。

　　塵埃粒子計數器是測量大于等于某一粒徑的粒子數量的儀器，其內部電路就是統計大于等于某一電壓值的脈沖數量的電路。對于上段中的例子，測量空氣中大于等于0.3μm粒子的數量，在電路中就是統計大于等于69mv的脈沖的個(gè)數，測量大于等于0.5μm粒子的數量，在電路中就是統計大于等于531mv的脈沖的個(gè)數，依此類(lèi)推。所以?xún)x器對塵埃粒子的測量，主要靠轉換靈敏度這個(gè)參數。

　　另外需要說(shuō)明的是，每臺塵埃粒子計數器的轉換靈敏度均不同，在出廠(chǎng)時(shí)及以后須期用標準粒子進(jìn)行校準，以獲得佳轉換靈敏度值。

　　電路系統就是完成對脈沖信號的放大、甄別、計數的電路。此外還包括電源、控制、顯示、計算、打印等電路。